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法國貝松(Bezons),2023年6月14日 - 下午5:45(中歐時間) - 作為全球半導體產業分子束磊晶/外延(MBE)設備的全球領導者,RIBER宣布與IntelliEPI合作開發驗證新MBE 8000生產平台的重要里程碑。
作為Riber的新旗艦,MBE 8000是市場上容量最大的MBE生產工具,能夠裝載生長八個150毫米(6英寸)或四個200毫米(8英寸)晶圓。這台機器的設計獲益於20多年來在全球運行的量產型MBE系統的經驗,實現了出色的工藝性能和穩定性,從而降低了擁有成本。
在交付第一個MBE 8000平台並與IntelliEPI密切合作進行全面資格認證後,所獲得的結果超出了對這項技術的期望,特別是在均勻性、缺陷密度、高良率和磊晶異質界面切換方面,這對於高性能激光器內的超晶格結構至關重要。
這些優異性能與大規模生產中高度穩定的重復性相結合,將能夠實現新一代激光器,尤其是用於快速增長的VCSEL(垂直腔面射出激光器)技術,該技術在智能手機顯示屏下進行臉部識別具有重要的市場機會。
在其最新的VCSEL報告中,Yole Group指出:“預計的主要變化是從940nm轉變到1,380nm (...)以實現VCSEL在有機發光二極體(OLED)顯示屏後面的集成,這些波長下的OLED顯示屏是透明的。第一個應用可能是將近場感應器放置在顯示屏下方(…)。” (source)
除VCSEL市場外,MBE 8000平台提供的摻雜均勻性和工藝穩定性控制也將增強微電子器件的性能,例如載流子傳導。
在過去幾個月中,隨著結果向幾家工業客戶披露,對這台機器的興趣迅速增加,引發了潛在購買的討論。
根據IntelliEPI的總裁兼首席執行官高永中的說法:“從到目前為止的初步評估來看,這台Riber MBE 8000在如此大的基板平台區域內能夠生產高品質的磊晶材料,具有出色的成分和厚度均勻性。憑藉這一改進,MBE 8000平台提供了使大規模生產MBE技術在高性能和高通量市場方面更具競爭力的解決方案。”
Riber首席執行官Christian Dupont表示:“得益於Riber和IntelliEPI團隊的努力,我們已經達到了MBE 8000資格認證的重要步驟。這台機器提供的結果超出了我們最初的目標。憑藉最佳的擁有成本和大容量,MBE 8000設備具有強大的商業前景。此外,我們與IntelliEPI在這個聯合開發計劃中達成的里程碑表明,我們有能力將MBE技術推展到高容量的半導體產業。”
原始文章來源:https://www.riber.com/financial_documents/riber-et-intelliepi-qualifient-la-performance-du-mbe-8000/
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https://www.semiconductor-today.com/news_items/2023/jun/riber-intelliepi-150623.shtml
https://compoundsemiconductor.net/article/116952/Setting_new_standards_for_MBE_
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